超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

超純水設備系統主要采用全自動反滲透+電去離子(EDI)+拋光混床超純水處理技術，前置預處理加反滲透處理，有效去除水中各種鹽份及雜質，然后運用CEDI及拋光混床系統，進一步提升水質，使出水達到用水工藝要求。超純水設備系統采用全自運控制，具有產水水質穩定、操作簡便、運行費用低、綠色環保、維護方便等優點。

超純水應用行業：新能源行業(光伏、微電子、太陽能、新材料)、電子(集成電路、顯像管、線路板、電腦元件、電容器等)、醫藥、電力(核電、光電、火力發電等)、光學、半導體、單/多晶硅、表面處理、化工、電鍍等相關行業。

超純水設備安裝好之后要對各組單元進行性能測試，操作步驟如下：

1、觸摸屏與PLC通訊測試

觸摸屏與PLC之間的通訊線連結好，觸摸屏上按相應按鈕，各執行機構比如泵、閥按照命令開關。

2、通電測試

在急停開關沒有被按下的情況各部件通電。PLC和人機界面開始運行。電控柜上指示燈亮，顯示電控柜通電。按下急停按鈕，電控柜斷電。彈起后重新上電。

3、原水進水測試

(1)、在手動模式下按下控制原水自動閥的按鈕，原水儲罐液位低于高液位時會根據命令打開，再次按下關閉。

(2)、自動模式時原水自動閥根據原水儲罐液位開啟或關閉。原水儲罐液位高于高液位時進水閥關閉，低于高液位時打開。

4、原水泵運行測試

(1)、手動模式時按下控制原水泵的按鈕，原水儲罐液位高于中液位時原水泵啟動，再次按下關閉。

(2)、自動模式時原水泵根據原水儲罐液位開啟或關閉。原水儲罐液位低于低液位設置時，原水泵停止，高于中液位時，原水泵重新開啟。

5、多介質過濾器正、反洗、產水運行測試

(1)、多介質過濾器為控制閥，手動切換閥組的正洗模式、反洗模式、產水模式，即進入相應的運行狀態。再次按下關閉。

(2)、自動模式時多介質過濾器正洗模式、反洗模式、產水模式根據處理參數設定時間開啟或關閉。

6、炭濾器正、反洗、產水、系統運行測試

(1)、炭濾器為控制閥，手動切換閥組的正洗模式、反洗模式、產水模式，即進入相應的運行狀態。再次按下關閉。

(2)、自動模式時活性炭過濾器正洗模式、反洗模式、產水模式根據處理參數設定時間開啟或關閉。

7、一級高壓泵運行 測試

(1)、手動模式下按下控制一級RO高壓泵的按鈕，泵前壓力高于超壓保護設置壓力時、泵后壓力低于低壓保護設置壓力時且原水泵工作時一級RO高壓泵會根據命令啟動，再次按下關閉。

(2)、自動模式時一級RO高壓泵,泵前壓力低于超壓保護設置壓力時、泵后壓力高于低壓保護設置壓力時且原水泵工作時一級RO高壓泵運行，原水罐液位達到高液位、純化水罐液位低于高液位時一級RO高壓泵運行。

8、一級RO沖洗測試

(1)、手動模式下按下控制一級RO沖洗閥的按鈕，一級RO沖洗閥打開一級反滲透進入沖洗狀態，不產水。

(2)、自動模式時一級RO沖洗閥的開關受HMI參數的控制。

9、調節 PH加藥裝置測試

(1)、手動模式下在操作界面按下加藥泵，當二級RO高壓泵工作時加藥泵會根據二級RO產水的水質啟動，再次按下關閉。

(2)、自動模式時在二級RO高壓泵運行的且二級RO產水PH低于PH儀表設定值前提下，加藥泵工作。

10、二級高壓泵運行測試：

(1)、手動模式下按下控制二級RO高壓泵的按鈕，原水罐液位高于中液位、純化水罐液位低于中液位時，二級RO高壓泵會根據命令啟動，再次按下關閉。

(2)、自動模式時二級RO高壓泵受原水罐液位及純化水罐液位的控制。當原水罐液位高于中液位時二級RO高壓泵會運行;純化水罐液位達到中時二級RO高壓泵運行。

11、二級RO沖洗測試

(1)、手動模式下按下控制二級RO沖洗閥的按鈕，二級RO沖洗閥打開二級反滲透進入沖洗狀態，不產水。

(2)、自動模式時二級RO沖洗閥的開關受HMI參數的控制。

12、EDI產水測試

(1)、手動模式下按下控制EDI合格/不合格閥的按鈕，不受電阻率控制，根據命令開關。

(2)、自動模式時EDI合格/不合格閥開關根據電阻率儀的設置參數的控制。當電導率大于0.067μs/cm時為水質不合格，不合格閥打開;當電導率小于0.067μs/cm時為水質合格，合格閥打開。

13、超純水供水泵運行測試

(1)、手動模式時按下控制供水泵的按鈕，超純水罐液位高于高液位時啟動，再次按下關閉。

(2)、自動模式時供水泵根據超純水罐液位開啟或關閉。超純水罐液位低于低液位設置時，供水泵停止，高于低液位設置時，供水泵重新開啟。

14、拋光混床產水測試

當電導率大于0.055μs/cm時為水質不合格;當電導率小于0.055μs/cm時為水質合格。

當前名稱：超純水設備性能測試標準
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