PH值對集成電路超純水設備有哪些影響

PH值對超純水系統的影響主要是對超純水系統中反滲透膜的影響。影響醋酸纖維素膜壽命的重要因素是膜的水解速度。而水解速度與溶液的PH值和溫度有關。當膜水解時,透水量和透鹽率將增加而產水質量將明顯惡化。PH值約為4.7時,水解速度為最小。PH值大于或小于4.7時,水解速度均加大。

在所有化學反應中,水解速度明顯受溫度影響,且隨溫度增大而增大。實踐證明,合適的PH值和溫度是保證膜合理壽命的重要因素。芳香族聚酰胺中空膜和復合膜不易發生水解。

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